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堿性蝕刻液再生循環(huán)及銅回收的裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種堿性蝕刻液再生循環(huán)及銅回收的裝置,該裝置包括萃取單元、反萃單元、電解單元和調(diào)配單元;蝕刻缸內(nèi)產(chǎn)生堿性蝕刻廢液并經(jīng)管道溢流進(jìn)入蝕刻廢液收集槽,萃取單元與蝕刻廢液收集槽與相連且降低堿性蝕刻廢液中銅離子含量;反萃單元與萃取單元相連且將萃取單元攜帶的銅離子變?yōu)橐纂娊饣厥浙~;電解單元與反萃單元相連且回收銅;調(diào)配單元與萃取單元相連且將經(jīng)萃取后的蝕刻廢液變?yōu)榭墒褂玫奈g刻添加子液,且調(diào)配單元還與蝕刻缸相連。本實用新型結(jié)合四個單元增加了再生液的穩(wěn)定性,減少了廢液的排放,延長了循環(huán)時間,且實現(xiàn)了堿性蝕刻工序的清潔生產(chǎn),且還具有設(shè)計合理、再生循環(huán)時間長、銅回收率高及廢氣污染少等特點。
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